干式螺旋真空泵浦
腔体内无油无水，可获得最干净真空
真空制程中无废油废水产生
能抽除含有水气与粉尘的制程
抽速快，真空度高 (7.5x10-3 torr)
适用产业：生技制药、电子/光电产业、食品工业
产品特色：
1. 结构设计100%比照化工客户、严苛制程等级的设备需求：
【1】高/低端皆採用双道轴封保护设计(Lip seal)：加强阻隔制程物污染油箱，延长维护保养时间。
【2】转子採合金钢圆棒一体成型加工，强度高，无砂孔，非一般铸造成型。
【3】机壳，端板使用高密度合金铸铁制作，耐磨，抗腐蚀能力提升。
【4】保护镀层选用杜邦铁氟龙涂料，膜厚足，包覆力强，有效隔绝腐蚀性物质。
2. 真空泵浦为100%为锐昇设计制造，零件备料充足，服务迅速。
3. 可针对特殊制程需求，提供客制化镀层的处理方案。
4. 原有机型SD160 、RS1302，亦同步提供水冷马达、人机操作介面、外罩钣金规格选配。
