干式螺旋真空泵浦

1. 风冷型设计，无须外接冷却水，安装简易、快速

2. 占地空间小、应用范围弹性大

3. 100%延续干式螺旋真空泵浦优点：节能、环保、无废水(油)、真空效率高



抽速快，真空度高：终极压力可达 7.5x10-3 torr (1 Pa) 。
制程洁净度高：泵腔内无水无油，避免制程物受油(水)气反流污染。
排污能力强：螺桿具有良好输送能力，能有效将制程物排出泵外。
应用范围广：适用于含有部分水气、粉尘、酸硷气体等制程。
节能兼具环保：低耗功、运转中无废水、废油产生。