规格: 主电源:3相220/380伏,50/60HZ约120 ~ 250安培 不锈钢腔体:直径1800 ~ 2200 mm × 高度1500 ~ 2000 mm (或其他客户指订尺寸) 系统控制:PLC程式控制保护、人机介面操作系统 靶极电源供应器:2200/380伏,50/60HZ,600V/900V,75A/150A 靶极尺寸: 170 W × 1400 ~ 1565 L 电浆直流电源供应器:直流3KV~直流7.5KV 蒸镀电流:4000A~6000A 真空帮浦(主泵):依腔体大小,配合鲁式帮浦配置 鲁式帮浦(辅助泵):依腔体大小,配合真空帮浦配置 扩散帮浦、涡轮分子帮浦:依腔体大小,配合客户工件需求配置 需求空间尺寸、重量 (约略) : W x D x H:5000 MM x 4000 MM x 2800 MM,7000 ~ 110000 KG
规格: 主电源:3相220/380伏,50/60HZ约120 ~ 250安培 不锈钢腔体:直径1800 ~ 2200 mm × 高度1500 ~ 2000 mm (或其他客户指订尺寸) 系统控制:PLC程式控制保护、人机介面操作系统 靶极电源供应器:2200/380伏,50/60HZ,600V/900V,75A/150A 靶极尺寸: 170 W × 1400 ~ 1565 L 电浆直流电源供应器:直流3KV~直流7.5KV 蒸镀电流:4000A~6000A 真空帮浦(主泵):依腔体大小,配合鲁式帮浦配置 鲁式帮浦(辅助泵):依腔体大小,配合真空帮浦配置 扩散帮浦、涡轮分子帮浦:依腔体大小,配合客户工件需求配置 需求空间尺寸、重量 (约略) : W x D x H:5000 MM x 4000 MM x 2800 MM,7000 ~ 110000 KG